無油渦旋真空泵的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域

    清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始，人們就試圖采用不同的手段達(dá)到清潔真空的效果。時(shí)至今日，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中，無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域：1半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；2真空冶金行業(yè)——真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢漏設(shè)備；3科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；4醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)；6生物制品行業(yè)——材料提純、藥品制備；7包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

無油渦旋真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對(duì)比

    無油渦旋真空泵的渦旋盤是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)無油渦旋真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。

    眾所周知，無油渦旋真空泵(Oil free scroll vacuum pump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。

無油渦旋真空泵的優(yōu)點(diǎn)及其能給用戶解決的問題
無油渦旋真空泵性能優(yōu)越

    渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)是間隙小、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪音低，可靠性高。這是其他類型的干式真空泵所不具備的。

 無油渦旋真空泵解決了污染與震動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題

    由于普通旋片油泵的漏油、噪音、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20~40Pa真空條件下鍍膜時(shí)，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵要將對(duì)鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝中使用油泵與使用干泵相比，成品率存在50%左右的差距，并且排出的油霧蒸汽對(duì)環(huán)境也有污染?？茖W(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測(cè)試儀器行業(yè)，采用油泵對(duì)測(cè)試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外渦旋無油真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。

 無油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低

    為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運(yùn)行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油。采用渦旋無油真空泵第一不需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動(dòng)更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制，上述優(yōu)點(diǎn)使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。